Phase II: 3종류의 펌프를 이용한 Cabot Semi-Sperse® 12 슬러리 순환 중 필터의 수명 비교 평가

Facts
이전의 테스트에서, CMP 슬러리의 큰 사이즈 입자 농도는 벨로우즈 및 다이어프램 펌프에서 증가하는 경향이 있는 반면 Levitronix^® 펌프에서는 해당 증가가 관찰되지 않았습니다.
큰 사이즈의 입자로 인하여 필터가 막히게 되면 필터의 수명이 단축될 수 있습니다.

Test conditions
Levitronix^® BPS-4 펌프, 다이어프램 펌프, 그리고 벨로우즈 펌프가 필터 수명에 미치는 영향에 대해 평가하였습니다. 각 펌프를 사용하여 대략 28.5리터의 Cabot Semi-Sperse^® 12 슬러리를 약 29.5 lpm (7.8 gpm)의 조건으로 순환시켰습니다. 10” Mykrolis Planargard^® CMP3 필터가 각 펌프의 후단에 설치되었습니다. 필터 수명과의 상관 관계를 나타내는 각 필터의 압력 강하를 모니터링하고 비교했습니다. 필터의 전반적인 압력 강하가 최소 10psi 이상 증가하거나 슬러리를 10,000회 이상 순환할 때까지 테스트를 지속하였습니다.

Results
벨로우즈 및 다이어프램 펌프로 측정한 압력 강하는 Levitronix^® 펌프에서 측정된 값보다 약 15배 및 5배 더 높았습니다. Levitronix^® 펌프는 압력 강하가 10psig 이상 증가하지 않고, 10,000회 순환에 도달한 유일한 펌프였습니다.

3종류의 펌프 테스트에서 모두 Filter의 ∆P 증가