LFSC-D PFA 반도체 Wet 공정을 위한 초음파 클램프-온 유량측정

LEVIFLOW^® 클램프-온 유량 센서 LFSC-D는 반도체 Wet 공정에서의 비접촉식 정밀 유량 측정을 위하여 설계되었습니다. 두 개의 압전 변환기에서 초음파를 생성하며 또 이를 수신합니다. 유량이 있을 경우, 그 유량 방향으로의 파동은 가속되고 그 반대의 파동은 감속됩니다.  수신 시간의 차이는 유속에 비례합니다. 센서는 완전히 비 접촉식으로 설치 및 제거가 간편하며, 고온의 유체 측정이 가능합니다.
LEVIFLOW^® 클램프-온 센서는 단일채널 컨버터 및 최대 6개의 채널로 구성할 수 있는 멀티 채널 컨버터 또는, 통합 시스템인 Levitronix^® 콘솔과 호환 가능합니다.
낮은 유량부터 높은 유량까지, 초순수부터 강한 화학 물질의 취급까지 가능한 LEVIFLOW^® 클램프-온 유량 센서는 수율 향상에 도움을 줄 수 있습니다.

Levitronix^® – 최고의 수율을 위한 최고의 센서!