반도체 Wet 공정을 위한 LFS 초음파 고정밀 유량 측정

LEVIFLOW^® 인라인 유량 센서는 고순도 유체의 정밀한 유량 측정을 위해 설계되었습니다. 두 개의 압전 변환기에서 초음파를 생성하며, 또 이를 수신합니다. 유량이 있을 경우, 그 유량 방향으로의 파동은 가속되고 그 반대의 파동은 감속됩니다. 수신 시간의 차이는 유속에 비례합니다. 측정은 완전히 비 접촉식이며 고순도 유체에 이상적입니다. 고성능 플라스틱 수지로 만들어진 센서로 인하여 내화학성이 매우 우수합니다. 더불어, 일부 센서들은 고온 공정에서도 사용이 가능합니다.
LEVIFLOW^® 인라인 센서는 단일 채널 컨버터, 또는 최대 6개의 채널로 구성할 수 있는 멀티 채널 컨버터와 호환 가능합니다.
낮은 유량부터 높은 유량까지, 초순수부터 강한 화학 물질의 취급까지 LEVIFLOW^® 인라인유량 센서는 수율 향상에 도움을 줄 수 있습니다.

Levitronix^®– 최고의 수율을 위한 최고의 센서!