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Levitronix® LEVIBOOST™ 반도체 공정을 위한 턴키 방식의 압력 부스팅 & 제어 시스템

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Levitronix® Leviboost™는 항상 적정 압력을 제공하도록 설계되었습니다. 고청정 베어링리스 펌프와 압력 센서로 구성된, Leviboost™는 정확하고 다이나믹한 압력 제어를 위한 턴키 솔루션입니다. 콤팩트하고 집적된 설계는 장비의 하부에 간단히 설치가 가능하고, 기존 공급 라인에 매우 쉽게 적용할 수 있으며, 강한 압력 제공과 더불어 실시간 모니터링을 통한 제어로 압력의 변동을 보상해 줌으로써, 사용지점에 일정한 압력을 보장합니다.
초 순수에서부터 화학약품까지 Leviboost™는 수율 향상에 도움이 될 것입니다.

Company Levitronix