유체 취급 부품(Fluid Handling Components)이 슬러리 특성에 미치는 영향

이 연구에서는 CMP 슬러리의 물리적 특성 또는 “수명”에 대한 펌핑 시스템 및 다이어프램 밸브의 영향성을 조사하였습니다. 슬러리의 특성은 입자 크기 분포의 변화를 측정하여 확인하였습니다. 벨로우즈, 다이어프램 및 자기 부상 원심 펌프의 3가지 펌프 시스템에 대한 테스트가 진행되었습니다. 벨로우즈와 다어어프램 펌프 시스템의 경우 슬러리의 큰 사이즈 입자 농도를 크게 증가시켰지만, 원심 펌프로 인한 영향성은 거의 확인되지 않았습니다. 입자 농도의 증가는 슬러리에서 생성된 큰 사이즈의 입자를 필터링하는데 사용되는 필터의 수명을 단축시켰습니다. 슬러리 순환에 대한 체크 밸브의 영향은 미미하였지만 체크 밸브의 지속적인 동작에 따라 큰 사이즈의 입자 농도가 증가하였습니다. 자기 부상 원심 펌프에서의 입자 농도 증가율은 벨로우즈 및 다이어프램 펌프에 비하여 훨씬 낮게 측정되었습니다. 전반적으로, 이 논문은 슬러리 제조 이후의 취급 방법에 따라 슬러리 내의 큰 사이즈 입자 농도가 상당히 영향을 받음을 보여줍니다. 일부 취급 방식으로 인하여 (벨로우즈 및 다이어프램 펌프를 통한) 슬러리 내의 큰 사이즈 입자 농도가 증가하게 되며, 이로 인하여 슬러리의 연마 효과가 감소될 것으로 예상할 수 있습니다. 자기 부상 원심 펌프를 이용한 슬러리 취급 시 상당히 낮은 슬러리 특성의 변화를 확인할 수 있습니다.