다양한 종류의 CMP 슬러리 특성에 대한 펌프 유형별 영향성

CMP 설비에 슬러리를 공급하기 위하여 사용되는 이송 시스템은 종종 슬러리의 특성을 저하시킬 수 있습니다. 이 실험을 통해, 4 종류의 슬러리가 다양한 펌프(벨로우즈, 다아이어프램 및 자기 부상 원심 펌프)를 통해 일정한 유량 및 압력 조건으로 순환되었으며, 시뮬레이션 순환 디자인을 통한 슬러리 순환 시 펌프 종류에 따른 슬러리의 특성 변화에 대한 영향을 확인하였습니다. 각각의 테스트 동안, 슬러리 내 입자의 크기 분포를 포함하여 다수의 슬러리 상태 확인 요소들을 모니터링 했습니다. 대부분의 슬러리 상태 확인 요소들은 펌프 종류에 따른 영향을 보이지 않았습니다. 그러나, 슬러리 입자 크기 분포(PSD) 중 큰 사이즈의 입자에 대하여 상당한 변화가 관찰되었습니다.  그러나, 슬러리 입자 크기 분포(PSD) 항목 중 큰 사이즈의 입자 구간 (입자≥ 0.5µm)에서 상당한 변화가 관찰되었습니다. 펌프 및 슬러리의 종류가 큰 사이즈의 입자 변화 정도에 상당한 역할을 하였습니다. 일부 슬러리에서는 다이어프램 및 벨로우즈 펌프로 순환 시 큰 입자 농도의 증가가 관찰되었지만, 그 외의 다른 종류의 슬러리에서는 변화가 관찰되지 않았습니다. 자기 부상 펌프를 통한 실험에서는 슬러리 종류에 상관없이 기타 다른 종류의 펌프에 비하여 현저히 작은 변화가 관찰되었습니다.