벌크 케미컬 이송(BCD)에서의 수격 현상

반도체 산업이 점차 소형화 되어감에 따라 벌크 케미컬의 순도에 대한 요구사항이 크게 증가하고 있습니다. 펌프와 비교할 때, 가압 용기 시스템은 필터에서 파티클이 방출되고 심지어 배관이 파열될 수 있는 치명적인 수격 현상의 위험이 있습니다. 이 영상에서는 수격 현상의 발생과 소형의 벌크 케미컬 이송 구성에서 도달할 수 있는 압력 수준에 대해 배우게 될 것입니다.

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