공압 펌프 시스템에서의 파티클 생성

반도체 산업에서 집적회로의 구조가 점차 감소하면서, 펌프와 같은 유체 취급 장치는 그 어느 때 보다 더 높은 순도 기준을 충족해야 합니다. 벨로우즈 또는 다이어프램 펌프와 같이 공압 펌프 시스템은 체크 밸브 및 기타 구성 요소의 마모로 인하여 입자 생성을 유발할 수 있습니다. 이 영상에서는 공압 펌프 시스템에서 어떻게 파티클이 생성되는지와 Levitronix^® 펌프와 공압 펌프 시스템의 차이점에 대해 배우게 될 것입니다.

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