미디어 센터
Facts
체크 밸브, 벨로우즈 또는 다이어프램과 같은 동작 부품의 기계적 마찰은 부품의 마모를 발생시킵니다. 이러한 마모로 인하여 웨이퍼에 결함을 발생시킬 수 있는 파티클이 발생할 수 있습니다.
Test Conditions
4개의 각각 다른 제조업체에서 제작한 10종류의 펌프를 다양한 조건에서 테스트하였으며, UPW를 이용하여 펌프의 동작 중 유출되는 파티클에 대해 평가했습니다. 해당 테스트 그룹의 모든 펌프를 비교하기 위해 유사한 동작 조건에서 테스트를 진행했습니다.
Results
Levitronix® 펌프는 동작 조건에 관계없이 다른 모든 펌프들 중 가장 작은 파티클 유출 결과를 보였습니다. 모든 테스트에서, Levitronix® 펌프의 후단에서 측정된 파티클 농도는 펌프를 사용하지 않은 기준값(Background)과 매우 유사했습니다.
Particle size distribution measured downstream of large pump systems at 5gpm and 40 psig
Microelectronics Pumps (BPS Series) 
Bioprocessing Pumps (Single-Use) 
Microelectronics Fans 
Control Units 