マイクロエレクトロニクス

マイクロエレクトロニクスのデバイス構造の複雑化、微細化が進むにつれ、薬液を使用するプロセスへの要求はより厳しくなってきます。半導体、太陽光発電、LEDの様々な分野の異なるプロセスをカバーするために、様々な異なる材料が必要です。繊細な材料を高清浄度で安全かつ高信頼性で供給する事は極めて重要です。

Levitronix^®は、20年以上にわたり、マイクロ
エレクトロニクス業界に製品を提供しています。
高清浄度のポンプシステム、ミキサー、
流量計を世界中の半導体デバイスメーカーに提供し、
微細なウエハ処理に使用されています。

プロセスの概要

プロセス

ウェット洗浄

CMPスラリー供給

メッキプロセス

薬液供給