Levitronix^® LFSC-D PFA

반도체 Wet 공정을 위한
초음파 클램프-온 유량측정

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반도체 클램프-온 유량센서

LEVIFLOW^® LFSC-D 클램프-온 센서는 PFA 배관용으로 고순도 유체의 비접촉식 유량 측정을 위해 설계되었습니다. 두 개의 압전 변환기에서 초음파를 생성하며 또 이를 수신합니다. 유량이 있을 경우, 그 유량 방향으로의 파동은 가속되고 그 반대의 파동은 감속됩니다. 수신 시간의 차이는 유속에 비례합니다.

LEVIFLOW^®클램프-온 센서는 반도체 Wet 공정에 차별화된 이점을 제공하여 제품 수율 향상에 도움을 줄 수 있습니다.

LEVIFLOW LFSC-D for PFA Tubing

장점

파티클 발생 없음
센서는 완전히 비 접촉식으로 고순도 유체에
이상적입니다.

고순도 유체에 이상적

간단한 설치 및 제거
센서는 완전히 비 접촉식으로
간단히 설치가 가능합니다.

비 접촉식 설치

최대 ±1% 측정 정확도

고 정밀 유량 측정

최대 120° C / 248° F
센서는 완전히 비 접촉식으로
고온 액체에 이상적입니다.

고온 액체에 이상적

고용량 공정에 적합
고용량 공정의 경우, 한 개의 컨버터를 통하여 최대 6개의 센서를 연결할 수 있는 멀티 채널 컨버터의 사용이 가능합니다. 센서의 신호는 RS485 two-wire bus 또는 PLC 인터페이스를 통하여 연결이 가능하므로 케이블 작업, 설치 공간, 그리고 비용을 절감할 수 있습니다