웨이퍼 패턴의 소형화 및 복잡성이 지속적으로 증가함에 따라, 반도체 Wet 공정에 대한 엄격한 요구 사항도 점차 증가하고 있습니다. 반도체 제조, 태양 전지 또는 LED와 같은 영역에서 다양한 공정 처리를 위한 많은 종류의 유체가 사용되고 있습니다. 이러한 공정에서는 초순수 유체의 안전하고 균일한 이송 및 처리가 가장 중요합니다.
Levitronix®는 20년 이상 반도체 제조 산업의 핵심 참여자로서 초고순도 펌프 시스템, 믹서 및 유량 센서를 제공하여 전 세계적으로 IC 칩 제조 업체가 가장 작은 사이즈의 웨이퍼 패턴에 대한 처리가 가능할 수 있도록 기여하고 있습니다.
Microelectronics Pumps (BPS Series) 
Bioprocessing Pumps (Single-Use) 
Microelectronics Fans 
Control Units 
Overview Brochure: Levitronix Pump Systems for Semiconductor Manufacturing