事实
泵接液表面积暴露在酸性化学物质中可能导致微量金属渗出。 微量金属污染导致半导体组件的电气性能发生改变。Levitronix®泵的接液表面积比与具有相同液体输送能力的隔膜泵小几倍。
测试条件
35% HCl 用作提取物。每次测试期间，通过泵保持化学品的连续流动。每次测试前都采集了背景样本，并以对数比例在相同间隔采集了进一步样本。分析结果转换为渗出累计。
结果
与Levitronix®泵相比，隔膜泵的表面污染的污染率高达9倍以上
Trace metal extraction of three Levitronix® pumps compared to two diaphragm pumps
Microelectronics Pumps (BPS Series) 
Bioprocessing Pumps (Single-Use) 
Microelectronics Fans 
Control Units 