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水中三种不同离心泵的颗粒脱落比较

关键词:
  • 離心泵
  • 微电子
  • 微尘颗粒析出
  • 泵比较
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事实
滑动轴承等移动部件的机械接触导致磨损。磨损可导致颗粒脱落,从而导致晶圆缺陷。
与传统的离心泵相比,Levitronix® 泵没有(滑动)轴承。

测试条件
对不同制造商的三台高能力离心泵进行了评估,在超纯水中运转, 评估多个测试条件下脱落的颗粒数。流速从11至190 lpm不等,而泵出口压力从 3.5 到 6.2 bar不等。

结果
无论操作条件如何Levitronix®泵始终能保持的最少泵颗粒于本研究评估。在所有测试中,在 Levitronix®下游测量的粒子浓度泵非常接近系统中没有测试泵的背景测量浓度。竞争泵系统中所脱落的颗粒是Levitronix®泵的400倍之多。

particle-size-distribution-measured-downstream-of-the-pumps-at-5gpm-and-40-psig

Particle size distribution measured downstream of the pumps at 5gpm and 40 psig

Author Mark Litchy, Gary van Shooneveld
Company CT Associates
Document Number LTX 1264 2751
Pages 13