事实
由于逆止阀、波纹管或隔膜等移动部件的机械接触导致磨损。磨损可导致颗粒脱落，从而导致晶圆缺陷。
测试条件
评估来自四家不同制造商的十台泵，在多个测试条件下和超纯水中的运行过程脱落颗粒数，以便在典型的操作条件下对所有泵进行比较。
结果
无论泵的运行条件如何Levitronix® 泵始终能于所有评估泵中脱落最少的颗粒。在所有测试中，在 Levitronix®下游测量的粒子浓度泵非常接近系统中没有测试泵的测量背景浓度。
Particle size distribution measured downstream of large pump systems at 5gpm and 40 psig
Microelectronics Pumps (BPS Series) 
Bioprocessing Pumps (Single-Use) 
Microelectronics Fans 
Control Units 