事实
与 Levitronix® 泵相比，气动泵由于逆止阀门和其他部件而会产生剪切力。泵中的剪切力可导致泥浆聚集。而聚集的slurry颗粒可导致微刮痕，进而导致 CMP 中的晶圆缺陷。
测试条件
评估了两台Levitronix® 泵、一台隔膜泵和一台波纹管泵，以评估它们对Cabot SiLECTTM 6000 slurry 质量的影响。固定容积的slurry在30lpm和2.1bar持续循环。样本在定义的时间从系统中抽取并分析。测量了每个样本的颗粒大小分布，并将每个颗粒大小的浓度与初始浓度进行比较。
结果
无论颗粒大小如何，Levitronix® 泵的颗粒大小分布变化不大。通过波纹管和隔膜泵，观察到显著增加，特别是在大颗粒浓度方面。
Concentration inreases measured during all tests after 1’000 turnovers
Microelectronics Pumps (BPS Series) 
Bioprocessing Pumps (Single-Use) 
Microelectronics Fans 
Control Units 