事实
与 Levitronix® 泵相比，气动泵由于逆止阀门和其他部件而会产生剪切力。泵中的剪切力可导致slurry聚集。而聚集的slurry颗粒可导致微刮痕，进而导致 CMP 中的晶圆缺陷。
测试条件
评估了两台Levitronix® 泵、一台隔膜泵和一台波纹管泵，以评估它们对Cabot®EP-6618泥浆的健康的影响。固定容积的slurry在26 lpm和2bar 持续循环，样本在定义的时间从系统中抽取并分析。测量了每个样本的颗粒大小分布，并将每个颗粒大小的浓度与初始浓度进行比较.
结果
无论颗粒大小如何，Levitronix® 泵的颗粒大小分布变化不大。通过波纹管和隔膜泵，观察到显著增加，特别是在大颗粒浓度方面。
Particle concentrations relative to the initial concentration for selected size channels
Particle concentrations relative to the initial concentration for selected size channels
Particle concentrations relative to the initial concentration for selected size channel
Microelectronics Pumps (BPS Series) 
Bioprocessing Pumps (Single-Use) 
Microelectronics Fans 
Control Units