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BFSマイクロエレクトロニクス洗浄プロセス向け耐薬磁気浮上ファンシステム

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Levitronix®ベアリングレスファンは、マイクロエレクトロニクス製造での厳しい要求に対して設計されています。磁気浮上技術によって、ファンのインペラはモーターによって作られた磁場によって浮上し駆動します。磁気浮上によって作られた広いギャップは、摩耗がなく、パーティクルを発生させない高清浄度のファンとなります。インペラとステータは完全に樹脂に封入されており、耐腐食性があるので防爆エリアでの使用も可能です。
機械的なベアリングを必要としないので故障のリスクを大幅に低減されます。これらの製品の特徴は、ファンの寿命を非常に長くさせます。圧力または流量センサーと接続することで、幅広いスピードレンジにおいて、非常に高精度に一定の圧力、流量に維持する事が可能です。すべてを小型の製品内に納め高いパワーで発揮できます。
ガス供給から排気制御まで、Levitronix®ベアリングレスファンはお客様の生産性の改善に貢献します。

Levitronix – Better fans for better yield!

Company Levitronix