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LFSマイクロエレクトロニクス洗浄プロセス向け超音波式高精度流量計

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LEVIFLOW®インライン流量計は、高純度薬品の高精度の流量測定に設計されています。2つの圧電トランスデューサが超音波を発生させ受信する事によって、2つの圧電トランスデューサが超音波を発生させ受信する構造になっており、液が流れている場合では、流れ方向の超音波は加速され、液と逆の流れ方向では超音波は減速されます。超音波の伝達時間の差は、液の流速に比例します。センサー部分は高純度の樹脂で封止されており、流量計は完全に接液する事がないので、簡単に設置でき、高温の液体の測定も可能です。薬液に影響を与えない測定方法なので高純度の薬品に対しても最適であり、高性能の樹脂中に液は封入され、センサーもアグレッシブな薬品に対して耐性があり、高温のアプリケーションでも使用可能です。
1チャンネルのコンバーターと6チャンネルまでのマルチチャンネルのコンバーター、ターンキーソリューションのコンソールと互換性があります。
低流量から高流量まで、超純水から危険な薬液の送液について、LEVIFLOW®クランプオン流量計はお客様の生産性の向上に貢献します。

Levitronix® – better sensors for better yield!

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