半導体プロセスの微細化がすすむにつれ薬液供給ラインでは、高純度なパーティクル管理が飛躍的に求められています。ポンプによる送液と比べ加圧による送液方法で生じるウォーターハンマーは、フィルターからの粒子の放出、配管の破損などのリスクの原因として考えられます。このビデオでは、ウォーターハンマーがどのように発生し、どれほどの圧力が影響を与えるかを小型の薬液供給ラインを使用して説明しています。
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