微細化が進む半導体デバイスの製造プロセスにおいて、ポンプなどの流体制御部品は、これまで以上に高い純度基準を要求されます。ベローズやダイヤフラムポンプなどのエア駆動の容積ポンプは、使用しているチェックバルブなどの部品の摩耗による粒子発生につながる可能性があります。このビデオでは、エア駆動ポンプシステムで粒子がどのように生成されるかと、Levitronix®ポンプとの比較について説明しています。
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