Levitronix^® LFS

超声波高精度微电子
湿制程应用流量测量

The LEVIFLOW^® LFS inline传感器专门用于高纯度液体的非侵入性高精度流量测量而设计。透过两个压电转换器产生和接收超声波。当流量存在时，顺流波加快，逆流波减慢。传播时间的差异与流体的速度成正比。所有原材料是由PFA制成，可抵抗强腐蚀性化学物质。

LEVIFLOW^® inline 传感器LFS在微电子湿制程应用中具有独特的优势，将提高您的产品质量与产量。

Leviflow LFS

益处

非侵入式测量由于没有运转元件，不存在磨损，因此实质上没有碎屑颗粒产生。

在宽流量范围内具有高精度
从每分钟几毫升至80 lpm范围内，读取精度为1%

适用于大容量应用
对于大容量应用，可选用多通道转换器，单个转换器可以处理多达6个传感器信号。传感器信号可通过RS485两线制总线或PLC接口获取，从而减少布线、安装空间和成本

支持高达180°C/ 356°F液体温度
高温版本加强了隔热，可以对热液体进行精确的流量测量。

智能数字信号处理
该流量转换器包含数字信号处理器（DSP），即使存在气泡，也能提供精确的流量测量。

智能传感器
提供了各种参数，如满量程、总体积、气泡检测、或高流量报警，并且这些参数都可用Levitronix服务软件进行配置

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