1.0Levitronixhttps://shoplevitronix.com/zh-hans/Sabrina Muellerhttps://shoplevitronix.com/zh-hans/author/sabrina-mueller/rich600338<blockquote class="wp-embedded-content" data-secret="rRaLmyqaEq"><a href="https://shoplevitronix.com/zh-hans/media-center/793/">Cabot^® WIN W7300-A18 Slurry颗粒子大小分布的三种泵系统比较</a></blockquote><iframe sandbox="allow-scripts" security="restricted" src="https://shoplevitronix.com/zh-hans/media-center/793/embed/#?secret=rRaLmyqaEq" width="600" height="338" title="“Cabot^® WIN W7300-A18 Slurry颗粒子大小分布的三种泵系统比较” — Levitronix" data-secret="rRaLmyqaEq" frameborder="0" marginwidth="0" marginheight="0" scrolling="no" class="wp-embedded-content"></iframe><script type="text/javascript"> /* <![CDATA[ */ /*! This file is auto-generated */ !function(d,l){"use strict";l.querySelector&&d.addEventListener&&"undefined"!=typeof URL&&(d.wp=d.wp||{},d.wp.receiveEmbedMessage||(d.wp.receiveEmbedMessage=function(e){var t=e.data;if((t||t.secret||t.message||t.value)&&!/[^a-zA-Z0-9]/.test(t.secret)){for(var s,r,n,a=l.querySelectorAll('iframe[data-secret="'+t.secret+'"]'),o=l.querySelectorAll('blockquote[data-secret="'+t.secret+'"]'),c=new RegExp("^https?:$","i"),i=0;i<o.length;i++)o[i].style.display="none";for(i=0;i<a.length;i++)s=a[i],e.source===s.contentWindow&&(s.removeAttribute("style"),"height"===t.message?(1e3<(r=parseInt(t.value,10))?r=1e3:~~r<200&&(r=200),s.height=r):"link"===t.message&&(r=new URL(s.getAttribute("src")),n=new URL(t.value),c.test(n.protocol))&&n.host===r.host&&l.activeElement===s&&(d.top.location.href=t.value))}},d.addEventListener("message",d.wp.receiveEmbedMessage,!1),l.addEventListener("DOMContentLoaded",function(){for(var e,t,s=l.querySelectorAll("iframe.wp-embedded-content"),r=0;r<s.length;r++)(t=(e=s[r]).getAttribute("data-secret"))||(t=Math.random().toString(36).substring(2,12),e.src+="#?secret="+t,e.setAttribute("data-secret",t)),e.contentWindow.postMessage({message:"ready",secret:t},"*")},!1)))}(window,document); /* ]]> */ </script> https://shoplevitronix.com/app/uploads/2021/01/LTX-1116-2097-e1611327275371.png185250事实 与 Levitronix® 泵相比，气动泵由于逆止阀门和其他部件而会产生剪切力。泵中的剪切力可导致slurry聚集。而聚集的slurry颗粒可导致微刮痕，进而导致 CMP 中的晶圆缺陷。 测试条件 评估了 Levitronix® 评估了Levitronix®BPS-4泵、隔膜泵和波纹管泵对Cabot® WIN W7300-A18 slurry健康的影响。11L 的slurry在30lpm和2.1bar持续循环。样本在定义的时间从系统中抽取并分析。测量了每个样本的颗粒大小分布，并将每个颗粒大小的浓度与初始浓度进行比较。 结果 无论颗粒大小如何， Levitronix® 泵的颗粒大小分布变化不大。通过波纹管和隔膜泵，观察到颗粒浓度显著增加，特别是在大颗粒浓度方面。